二手 VARIAN E1000 #293603454 待售

ID: 293603454
晶圓大小: 6"
Ion implanter, 6" End-station type: VIISion.
VARIAN E1000離子植入器和監控設備是一種高精度、高效、全自動的離子植入器系統,專為商用半導體生產和研究應用而設計。它具有高端組件、全方位的植入模式和模塊化設計,可根據用戶的特定需求快速重新配置。其堅固的設計確保了可靠、長期的性能和節能。該裝置的心臟是其高頻高壓橫向擴散植入器(LDFI),它結合了快速熱離子植入(RTII)和靜態擴散技術,用於高效、可重現的離子植入。支持快速RTII處理的獨特低功耗電源會導致極低的過程停機時間。VARIAN E-1000能夠以高達300 keV的能量以極高的精度植入,提供均勻的劑量和卓越的監測精度。E 1000的植入化學由基於Windows的軟件控制,提供了一個用戶友好的界面,用於設置、調整和校準,以及實現實時數據存儲和可視化。該機還具有集成表面成像(ERMI)功能,可用於表面輪廓分析和缺陷分析。這樣可以對植入層進行完整的表征,幫助優化過程的精度,而無需任何手動調整。這臺機器的模塊化設計進一步增強了靈活性,由於技術要求不斷變化,因此無需手動重新配置。模塊化組件快速且易於交換,可以根據需要輕松重新定位。VARIAN E 1000設計為環保,利用高效的電氣驅動器,減少循環時間,並具有改進的冷卻和安全殼設計。所有系統都可以遠程管理,從而使用戶能夠保持與其流程和設備的連接。總之,E1000離子植入器和監測器是高精度、高效半導體生產和研究應用的理想工具。它具有功能強大的高頻LDFI、高級軟件和表面成像、模塊化設計以及用戶友好的功能,可實現快速、輕松的設置、調整和監控,使用戶能夠根據自己的需要配置流程。
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