二手 VARIAN E1000 #44234 待售

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ID: 44234
Spare parts - many available Suppression power supply: E11006900 Interface: 101927001 Cryo control: 112627001 Cryo pump: CT250F JAR motor: 112612001 (3) Motor of road lock R4 scan motor: 11364002 R1 vacuum feed thru: 112610001 R6 vacuum feed thru: 112614001 Disk motor (2) Wafter lift assembly, 8" hook type Acceleration tube (needs cleaning) Beam gate-gate valve: VAT 17/93 (3)Main chamber cryogate valve: VAT 33/93 Manipulator Varian plasma and bias supply (needs repair).
VARIAN E1000是一種離子植入器和監控器,可用於修飾和重新定位半導體和固態器件中的摻雜離子。它是一種完整的離子植入設備,提供可靠、可重復和經濟高效的各種離子植入,以改變半導體器件的電氣特性。VARIAN E-1000憑借其先進的技術和嚴格的工藝控制,以高質量的效果實現了高精度植入。該系統利用大束能量範圍,在控制植入深度和劑量方面提供了靈活性。它能夠在短短幾秒鐘內植入高達100微米的深度。該裝置還配備了極其精確的光束監視器,可實時測量植入參數,確保一般過程的準確性和可重復性。E 1000包括可靠的熱場發射槍,提供適當控制的熱絲和可調節的發射電流,以產生低發射率的離子束,從而減少熱負荷和光束失真。該槍能夠以高達120 keV的光束能量運行,並以均勻一致的植入物分布運行。機器還包括精密的電腦化控制系統和強大的運動硬件,使用戶能夠監控植入過程的每個階段。用戶友好和直觀的圖形用戶間階段有助於導航過程導航和參數。植入器還能夠實時監測植入劑量,並通過安全鎖進一步提高操作員的安全性,防止未經授權進入植入器和機器區域。E1000提供了一種可靠且性能優異的離子植入器,可用於多個行業。該工具采用先進的工藝和工藝控制,設計精確度、可重復性和質量。
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