二手 VARIAN E1000 #9054294 待售

VARIAN E1000是一種用於高通量、高劑量離子精確註入半導體晶片的離子植入器和監測器。該植入器可用於有效地塗抹晶片，使晶片上的離子格，矽，磷和其他離子，從而改變晶片上的電特性。其高分辨率光束監測設備允許精確控制離子劑量和分布，以達到最佳電氣效果。VARIAN E-1000從裝入離子源的源室開始。有三個獨立的可用源,它們可以一起掃描整個晶圓表面。三個源分別是單束離子源、狹縫束離子源和多束離子源。單光束源用於大表面積上的均勻植入，而狹縫和多光束源則用於小區域的圖樣植入或植入。加速器模塊然後將離子束傳遞到電離室中。該腔室是專門為限制離子束和確保高精度的植入而設計的。它配備了幾個特性，如光束準直器和光束掃描，以及一個離子等效監視器來記錄已被植入的離子的確切數量。一旦離子被植入，晶片被移動到無定形沈積室。該腔室允許非導電層沈積在晶片表面，改善了芯片的電氣特性。最後，E 1000有一個晶圓檢測室，用於檢查植入的芯片。該腔室配有激光表面檢查系統，用於驗證摻雜芯片的電氣特性，以及光學顯微鏡，用於查看芯片上特征的精細細節。總體而言，E1000是一個極其強大、準確、可靠的植入和監測裝置，能夠精確控制高劑量離子註入半導體晶片。其各種特性和腔室為摻雜半導體制造提供了高通量、精確的機器。