二手 VARIAN E1000172 / E1000173B #9163521 待售

VARIAN E1000172/ E1000173B離子植入器和監控器是一種先進的設備，設計用於將離子精確植入材料中，如半導體晶片。它能夠有效地沿任何底物植入離子，以創建所需的摻雜剖面、物理特性和電磁值。E1000172/ E1000173B配有離子束源、能量分析設備和計算機控制單元。光束源被電磁場加速，然後通過屏蔽層傳遞到分析站。在那裏，通過改變電場強度來識別和分離各種電荷質量比的離子。選擇後，光束分成兩個部分，一個用於植入，另一個用於監測植入離子的能量。然後控制計算機對光束強度進行調節，以確保離子劑量準確且可重復，而不會影響精度。監控器允許通過精確的同時測量電流離子束和植入材料來精確控制離子劑量。植入參數如電流、能量擴散、離子種類、入射角等都可以根據植入的材料和需要達到的所需特性進行調整。自動控制系統用於不斷監控這些參數，並為過程優化做出任何必要的調整。VARIAN E1000172/ E1000173B還配備了離子植入物監測裝置，以確保植入電荷率保持符合預定參數。機器設計用於檢測任何危險輻射水平，必要時立即關閉光束。此外，還使用真空安全聯鎖工具防止顆粒損壞資產。總體而言，E1000172/ E1000173B是一項可靠的技術，用於廣泛的離子植入應用。它旨在提供快速、高效和精確的離子植入。其先進的控制模型確保植入電荷與預定參數保持一致，以獲得最佳效果。