二手 VARIAN E1000HP #187202 待售
網址複製成功!
單擊可縮放
ID: 187202
晶圓大小: 8"
優質的: 1994
Implanter, 8"
Non-SMIF
Jar type
S6 Motor
Gas type: CGA Type:B+
SDS:AS+
SDS:P+,AR+
Beam line Turbo Pump Type: Leybold
Compressor Type: CT8600(2ea)
Utiliy Supply: Top
Faraday: PFG
Angle: Auto
Soucre Assembly type: Cusp source
Y2K Status Completion: Yes
Below pumps are not included:
1) Terminal Dry Pump
2) Chamber Dry Pump
3) Chamber Cryo Pump
Installed in clean room
Powered off
1994 Vintage.
VARIAN E1000HP是一種采用VARIAN獨特離子植入技術的離子植入與監控設備.它用於各種工業和應用,因為它能夠生產和控制高能離子,用於各種應用,例如半導體制造中的摻雜和掩模優化、金屬表面改性和離子束分析。它是VARIAN系列離子植入器中的最新一款,在過去幾十年中一直設計為提供可靠和高性能的植入系統。VARIAN E1000 HP系統是為廣泛應用而設計的高電流、高能量植入器。它能夠提供0.1至數十千庫侖的劑量,光束電流為0.1至300納米安培,光束能量為0.01至12 MeV。它具有優化的光束光學設計,使用戶能夠快速調整光束的能量分布,其先進的光束傳輸單元確保了高精度的植入。此外,E-1000 HP還設計了集成的環形離子收集器和檢測器組件,以及先進的診斷平臺,可幫助操作員確保設備的最佳性能。E1000 HP由於具有高度可靠和均勻的離子註入能力,因此在半導體工業中大量使用。它也適用於需要較低劑量和較低損傷植入的應用。它能夠產生高度精確的摻雜深度,例如在典型的CMOS器件中進行有效的摻雜控制所需的那些深度。它還用於掩模優化,它有助於微調設備的關鍵尺寸,而不會在淺層深度造成明顯的退化。E1000HP的設計著眼於工業環境中的性能。它有一個集成的自動化接口,使其能夠與更高級別的計算機系統和數據收集設施相連接,使得在現有的半導體制造系統中容易實現。它還提供了廣泛的安全功能,使客戶能夠享受其機器所需的保護級別。VARIAN E-1000 HP已被證明是一種高效可靠的植入工具,可用於各種應用,而且在未來許多年裏,它肯定是制造設施的重要資產。
還沒有評論