二手 VARIAN E11000090 #9067642 待售

VARIAN E11000090是一種離子植入器和監控器,專為精密半導體加工而設計.它使用可變能量的離子束，可以用不同的氣體或蒸氣源送入，然後引導到目標材料中。E11000090控制離子束的能量和通量，以確保能夠實現最高質量的植入物。VARIAN E11000090由於其卓越的精確度和可重復性特性，其設計可實現更高水平的植入精度。它具有0.5nm的分辨率，非常適合在納米加工應用中建立精確的植入物輪廓。它可以同時處理高能和低能離子，它的總光束電流高達30mA允許廣泛的植入型材。該裝置還具有可調節的電源，用於高度精確的離子束能量控制，以及安全操作的各種集成安全功能。E11000090采用獨特的光束監控系統，能夠實現高度精確的植入到監控操作。該系統測量目標處的實際光束電流，並有助於確保植入物輪廓保持在所需的參數之內。它還包括一個可變停留時間功能，使用戶能夠調整植入時間，以達到最佳效果。該單元具有一系列用於增加安全性的綜合安全功能，包括一個浮動室閘門，以避免在原位離子植入期間氣體泄漏和/或恒流監測儀實時測量光束電流。這些功能有助於確保植入以原始的一致性執行。VARIAN E11000090是一種先進的離子植入器和監控器，在設計時具有卓越的精度和可重復性。其可調電源的範圍、集成的安全特性以及先進的光束監控系統，使其成為精密半導體處理應用的理想選擇。