二手 VARIAN E11000090 #9110167 待售

VARIAN E11000090是一種高性能的離子植入器和監控器，它提供精確而強大的離子摻雜，適用於先進的半導體制造工藝。它是一種單端專用的植入器和監視器，可與多種離子配合使用。它專為高效率和速度而設計,可提供高達60kW的最大輸出功率。E11000090配備了先進的功能,例如其液源幫助熱線自動調整噴嘴中心點以優化源位置,以及其真空傳輸線能夠將材料直接註入真空。它還具有背面植入功能，允許用戶選擇性地將不同的摻雜劑植入基質的不同區域。VARIAN E11000090還配備了一個背面離子光學監視器，它可以對植入物的進展進行現場監測。E11000090可以以高達10nm的分辨率輸送高達10^15/cm2劑量的離子,並配有外部光束掃描系統,以超細控制光束的尺寸。它提供了強大的光束穩定功能，以確保準確控制植入物的劑量和位置。植入器的Beam Current Monitor功能還可以檢測和識別摻雜過程中可能存在的任何大小的粒子。除了強大的離子植入能力外，VARIAN E11000090還提供了一系列工具來分析和監測植入過程。其自動對準系統自動調整噴嘴和基板的位置，以優化植入物輪廓的精度。它還具有一個離子通量計，測量和記錄植入的離子被基質吸收的量。顯示器的多通道離子通量檢測器可以從不同角度檢測多個離子通量通道，幫助用戶確保其摻雜過程的最大均勻性和準確性。E11000090離子植入器和監測器是提供高質量結果的強大而可靠的工具。它提供了一些工具，可以幫助確保摻雜過程的準確性和精確度，讓用戶實現無與倫比的性能。