二手 VARIAN E11001040 #9211648 待售

VARIAN E11001040是一種最先進的離子植入器和監控器，為半導體晶片的處理提供了卓越、高精度的離子束技術。它是市場上最先進的植入物之一，具有卓越的精確度和可靠性。為了支持其高性能操作,該設備包括幾個尖端組件。高能光束線可確保植入所需離子的最佳光束能量傳遞。電動步進掃描系統允許精確的重復掃描優化transepts，以確保均勻植入。另外，植入的光束可以通過使用偏轉器和縫隙進行定向。這使得該裝置適用於半導體材料中的廣域和局域植入物，如淺結點。此外,該設備還具有計算機控制的處理器,可優化劑量遞送。控制器提供了一些可調參數來控制過程周期中的劑量。它也可用於在晶圓逐個晶圓的基礎上評估工藝結果。此外,操作員還可以實時調整光束電流、能量和掃描速度等參數。這樣可以快速優化工藝並提高產量。為了進行監控,E11001040包括市場上最先進的端點檢測系統之一。該系統提供精確、可靠的端點檢測，以確保整個周期的準確植入。此外，該裝置還包括幾種腔室診斷，如質譜、紅外和可見光光譜以及光束風扇分析。這些診斷程序可對植入過程進行精確監控,並在需要時立即反饋以采取糾正措施。所有這些功能的結合確保了優質的植入物與最小的浪費和最大的效率。先進的計算機控制和診斷能夠對植入過程進行精確控制，從而產生無缺陷的統一產品。此外,高質量的組件和可靠的設計提供了長期、無故障的性能,從長遠來看可以節省時間和金錢。