二手 VARIAN E11001051 #293671683 待售

VARIAN E11001051是一種高端離子植入器和顯示器，專為精密的植入和加工應用而設計。它配備了一個高容量的離子源，單班可處理高達350個晶圓每小時。它包含一個25千瓦的粒子束，能夠植入離子；但是，晶圓尺寸限制在6英寸。監視器能夠精確測量植入的離子並進行深入分析，從而實現更好的過程控制。E11001051具有專門設計用於安全運輸和加工晶片而不會造成任何損壞的源-晶片處理設備。它還具有先進的光束轉向系統，可以在大於晶圓表面積的區域上精確植入。此外，該裝置還包括一個獨特的超高分辨率光束監測器，用於實時監測離子註入參數。通過提供實時反饋和數據,可以實現更準確的植入。監視器還以易於解釋的格式顯示進程結果,該格式可用於比較來自不同處理運行的結果。此外,VARIAN E11001051還具有用戶友好的界面,使操作員可以輕松地與植入器進行交互和控制。該接口還允許高效安裝和操作植入器,從而減少操作員的停機時間和頭痛。而且，它帶有自動層識別，允許在同一晶圓的多個不同層上進行相同的植入。最後，該機包括過溫和電壓控制等內置安全特性，以及緊急關閉。這樣可以確保植入器以安全可靠的方式運行。總體而言，E11001051是任何需要精確和一致離子植入的應用的理想選擇。