二手 VARIAN E11001062 #293671682 待售

VARIAN E11001062是一種離子植入器和監測器，通常用於將摻雜劑沈積到半導體基板中。該設備具有先進的高純度雜質監測和控制功能,專為滿足半導體行業最苛刻的要求而設計。E11001062是一種單端水平離子植入器，允許在單個過程中同時進行摻雜和分析。它帶有1.5 MV的加速電壓，使用單端全能量光束。植入器還具有可調的排水、掃掠和傾斜角度，允許無限的靈活性和根據用戶需求的無縫調節。VARIAN E 11001062的高級監視功能旨在提供雜質濃度的精確實時測量。信息屏幕顯示監控系統性能所需的數據的簡明摘要，為診斷和調整興奮劑配置文件提供了方便的方法。生產環境可以通過E11001062實現完全自動化。它的腔室允許對電荷、傾斜角和輪廓參數進行遠程控制。自動化還減少了設置和調整所需的時間，其先進的計算機控制能力提高了劑量配置文件的可靠性和準確性。VARIAN E11001062還具有多種安全功能。植入器在接近零背景汙染的情況下運行，並提供環境和溫度控制環境，以確保恒定的高質量沈積。植入器還符合ISO 9001標準，並具有先進的安全系統來保護用戶數據和機密信息。它還帶有內置的安全關閉功能,以確保在所有條件下的可靠運行。總之，E11001062是一個先進的離子植入器和監控系統設計的精度，可靠性，和生產力。憑借其可調節的排水、掃掠和傾斜角等強大功能、先進的監控能力、自動化和安全功能，該設備被設計為滿足半導體行業對摻雜的最嚴格要求。