二手 VARIAN E11004390 #148167 待售

VARIAN E11004390是一種離子植入器和監控器，旨在提供高效、可靠和經濟高效的材料植入和監測。這種裝置用於半導體工業，目的是在矽片等基板上創建精確放置的圖樣和結構。離子註入是一個過程，離子在高能級生成，並加速向底物。當離子與底物的原子碰撞時，它們被嵌入到材料中。此過程允許創建小特征,這些小特征可用於形成晶體管和電阻器等設備。E11004390能夠植入各種離子，包括硼、氙、砷、磷和的。該裝置包括軟件控制的離子源、加速柱、束映射設備。離子源產生高能離子，加速柱將離子加速到所需的水平。光束映射系統確保離子正確對準基板的正確區域。VARIAN E11004390配備了一個高級控制單元，可實時監控所有過程變量，包括溫度、壓力和加速度。這允許對離子植入過程進行精確控制。E11004390還包括一臺數據記錄機，它可以存儲最多六個不同基板上的信息。此信息可用於訪問設備性能並跟蹤一段時間內的流程趨勢。該設備的設計還包括一系列其他功能，這些功能提高了基材產量，並已成為行業標準。這些包括一個離子隔離工具，以防止不需要的離子進入光束和一個完全密封的外殼，以保護組件免受灰塵和顆粒。總體而言，VARIAN E11004390是一種先進、可靠的離子植入器和監控器，專門設計用於提供卓越的材料植入和監控。該設備為半導體行業提供高效、經濟高效的解決方案,其多種功能確保其用戶能夠獲得最優質的材料和技術。