二手 VARIAN E11034134 #9230309 待售

VARIAN E11034134是一種離子植入器和監測器,用於將離子輸送到基材中.這臺機器是由幾個組件組成的，這些組件共同創造了一個完整的設備。這些組件包括離子源、離子束線、一次和二次加速系統、能量和束電流控制器、束光學器件、束傳輸系統、診斷和測量設備以及端站。離子源用於產生和運輸離子束。它由離子束發生器、離子導管和提取系統組成。離子束發生器通過轟擊充滿氣體的外殼（如離子沈積室）或具有高能電子的固體目標材料來產生離子束。這種對電子的轟擊產生的離子被提取並聚焦成一束.離子束線用於收集和傳輸離子束。它包括一組控制和引導光束的磁體，以及監測光束特性的光束診斷系統。然後使用初級和次級加速系統使光束達到所需的電壓和能量。能量和束電流控制器也用於維持離子束的能量和電流水平。之後，利用光束光學元件來控制離子束在基材上的形狀、大小和位置。這是通過調整焦點和散焦方法來實現的。設置光束形狀和大小後,光束傳輸系統將光束從離子源移動到端站。光束傳輸系統包括各種離子光學元件，以及不允許離子束從單元中逸出的真空系統。然後使用診斷和測量設備來測量光束的特性，包括其電壓、電流、能量和位置。最後，端站是光束聚焦在基材上的地方，允許進行限制和操縱。總體而言,E11034134離子植入器和監控器是離子植入的完整包裝.它能夠產生和輸送任何給定基材所需能量、電流和電壓的離子束。該工具還配備了各種診斷和監控組件，可以對植入過程進行精確控制和優化。這一資產在整個行業和學術研究中得到廣泛應用。