二手 VARIAN E11071400 #149060 待售

VARIAN E11071400是一種工業離子植入器和顯示器，設計用於各種半導體應用。它允許用戶將每平方厘米10個離子沈積或植入矽片。該設備采用優化的光束線和數據收集系統，可以在操作過程中改變矽片的摻雜濃度。這允許精確控制摻雜劑濃度，並允許創造光學上優越的半導體材料。E11071400由兩個主要組件組成：大型機和波束線。主機裝有離子源和監控器、離子束控制單元和數據收集機。該工具還包括離子預沈積室和靶向掃描平臺。光束線用於將離子從源轉移到目標表面。它由離子減速器、質量分析資產、離子光學模型和加速/減速組件組成。集成的數據收集設備使用戶能夠監測和控制晶片中的摻雜濃度，跟蹤植入過程中晶片特性的演變。這大大降低了加工過程中損壞晶片的可能性。該系統還具有可調節的光束點大小，允許用戶減少植入面積。這有助於最大限度地減少相鄰晶片中材料的汙染。VARIAN E11071400配備了一系列安全系統來保護植入器和監控操作。其中包括防止意外暴露的機械聯鎖單元、打開預沈積室時的安全關機以及緊急停止功能。高速數據采集工具快速、準確地記錄植入數據，設計為在多個窗口下運行，使用戶能夠快速、輕松地訪問各種數據。資產還提供了全方位的數據可視化工具，幫助用戶了解植入過程。總體而言，E11071400離子植入器和監控器是一種可靠的高性能模型，可用於各種半導體應用。它提供了無與倫比的離子束控制，精確的植入控制，以及豐富的安全特性，使其成為先進制造商的理想選擇。