二手 VARIAN E11077380 #9216111 待售

VARIAN E11077380是由VARIAN Semiconductor Equipment設計制造的電子離子植入器和顯示器設備。該系統利用具有集成電子制動和質量分析單元的反作用室，實現對彈丸強度和能量分布的精確控制。E11077380離子植入器設計用於離子植入，這是半導體器件制造制造表面摻雜層和相關結構的一種工藝。在這個過程中，VARIAN E11077380機器允許精確和精確地控制材料表面轟擊的光束強度和能量分布，從而可以創建高度精確和技術先進的電路。E11077380工具配有集成電子設備，旨在確保精確控制光束能量擴散、強度和光斑大小，使材料在不同輻射和基板參數下的轟擊具有獨特的均勻性。資產的集成EPS（能源電源）可提供100 eV至30 kV的可調能量範圍。這為植入和蝕刻應用提供了高效的控制級別。VARIAN E11077380還配備了集成光束監測模型，用於監測撞擊離子束的整體輪廓。這一設備定期提供關於轟炸概況統一的反饋，以便進行定期和自動化的校準任務。此外，監視器允許用戶驗證整個轟炸過程的強度、能量擴散和均勻性。E11077380是一個模塊化系統，允許在材料的植入和蝕刻方面具有高度的靈活性和多功能性。該單元有三種針對特定工藝和應用量身定制的配置，包括適用於深矽摻雜的高能版本、適用於中深摻雜的中能版本和設計用於表面蝕刻的低能版本。該機還配備了60kW快速高壓脈動高壓開關快速高效。總體而言，VARIAN E11077380是針對半導體工業中的精密植入和蝕刻應用而優化的尖端離子植入器和監控工具。其集成的電子和控制特性，加上高效的能量和高壓脈沖，為高效、可重現的材料和電路植入提供了精確準確的操作。