二手 VARIAN E11081190 #9107061 待售

VARIAN E11081190是一種離子植入器和監控器，用於半導體制造過程。它作為一種分析工具，提供精確和可重復劑量的摻雜離子，用於制造電子設備中使用的組件。E11081190配有一個離子源，可以準確控制和輸送各種電流裝置所需的摻雜離子。內部源由加熱的鎢絲、提取系統和靜態離子組成，以最大限度地提高電離效率。離子束通過多光圈系統加速至高達100 keV的能量，以保持高電流密度，同時減少任何光束擴散。離子束電流密度通過法拉第杯監測，法拉第杯能夠測量高達1mA的電流。電流響應和漂移校正自動調整離子植入器的束能量和電流，以保持離子的預定劑量，同時調整束包絡。VARIAN E11081190具有自動對準功能，使其能夠以聚焦方式精確對準和掃描離子束，提高植入的準確性。此功能對於在復雜電子元件的制造中實現高精度至關重要。E11081190還有一個用於用戶控制和數據存儲的集成計算機系統。它允許從任何位置對植入器參數（如停留時間和光束間距）進行強制監控和調整。其強大的軟件還使用戶能夠查看、分析和修改工藝配方、管理或固化響應曲線和快速光束調整。這保證了離子的正確劑量被精確輸送。VARIAN E11081190能夠在納秒級確定中提供可重復、精確和可靠的結果,從而減少停機時間並實現有效、高度準確的植入過程。它還確保設備和組件的高質量和完整性得到維護,從而保證其在最終產品中的性能和特性。