二手 VARIAN E11107177 #9265198 待售

VARIAN E11107177離子植入器和監控器是為主要半導體和矽片生產而設計的一種先進的離子植入器模型。它通常用於制造集成電路、晶圓級封裝和其他微電子元件。E11107177是一個高通量，直流偏置，防洪槍植入器設備，中高束電流範圍從0.2uA到400mA。它能夠在1 keV至50 keV的低能量下運行，並具有一個集成的法拉第杯，用於測量源的劑量和劑量率。VARIAN E11107177的離子源由電子束發生器、電子束杯和集電極組件組成。E-Beam杯裝有兩個同軸射頻場，可以動態操縱離子束能量和軌跡。這是有益的,因為它允許調整工藝參數以針對基板表面的特定組件。E11107177具有雙斷頭臺縫隙組件和獨特設計的提取器系統,可快速啟動和終止離子束掃描,顯著縮短植入時間。此外，該單元最多可安裝四個光束控制器，允許同時運行多達四個進程。VARIAN E11107177植入器集成了多個安全功能。它配備了各種傳感器以監測溫度和壓力，以及一個氣體輸送單元以確保機器的安全運行。E11107177離子植入器和監控器是一種全面、通用的工具，可以滿足半導體行業的嚴格要求。利用慣性控制光束掃描、光束能量動態操縱和安全特性，已成為廣泛應用於各種離子植入應用的解決方案。