二手 VARIAN E11114360 #144136 待售

VARIAN E11114360是一種高性能的離子植入器和顯示器，旨在提高工藝可靠性和產量。它是一種通用通用設備，適合各種先進應用，非常適合日常生產運行。E11114360具有完全集成的光束線系統,具有可調的能量和電流設置,可實現精確的植入。該裝置配有精密的源汙染控制和汙染防護系統，使機器免受危險顆粒和氣體的傷害。它增加了高精度氣密晶圓傳輸工具，進一步提高了工藝可靠性和吞吐量。光束線資產采用高性能、數字化掃描模型和強大的光束輪廓監控技術，導航光束線並快速修改植入條件。這種先進的掃描設備可以讓操作員獲得過程的實時反饋，提高準確性、效率和產量。VARIAN E11114360還采用了數字光束形狀優化技術，允許用戶調整光束形狀，根據特定要求量身定制植入。這一創新確保了植入的顆粒均勻分布在晶圓上，提高了工藝精度和產量。該系統采用基於Windows的現代控制界面進行控制，便於E11114360操作。此界面具有直觀的功能和控制,允許操作員快速調整設置並監控植入過程。此外,該部門的高級智能、控制和診斷功能提供了廣泛的編程靈活性,使操作員能夠訪問大量數據並分析過程。VARIAN E11114360是一個令人印象深刻的離子植入和監測機器，結合了先進的技術，精度，效率和可靠性提高產量。其全面的設計使其成為各種高精度植入應用的理想工具。