二手 VARIAN E11114360 #293670842 待售

VARIAN E11114360是一種高性能的離子植入器和監控設備。是半導體工業中用於離子註入基板的離子植入器技術的一種。該工藝用於制造半導體器件的精確模式。該系統是一個高真空平臺，設計用於高精度維持真空。它有一個自動化的控制單元，使準確和一致的植入條件。與手動植入相比,該機器提供了更高的準確性和可重復性,同時還允許在一次運行中使用多種材料和配置。E11114360有一個多功能監控工具，設計用於內部陰極光束性能監測。這包括一個柔性束線架構，能夠處理多路復用或單個粒子，測量量不超過4微米。具有脈沖至脈沖光束驅動，可實現均勻植入深度。該資產具有高精度的延遲場能量分析儀.它允許通過精確的減速和測量對非脈沖離子進行精確的能量分離。它還有一個位置敏感的自動點和痕跡植入過程檢測器。該模型配備了一個原位離子電流監測器，允許監測目標基板上的離子轟擊。這有助於確保精確的植入控制和均勻性。它還提供了比傳統植入方法更高的可靠性和準確性。VARIAN E11114360還具有單獨的晶圓傳輸設備。這種裝置可以自動裝載和卸載基板,同時保持真空的完整性.這消除了人工幹預的需要，提高了流程的效率和成本效益。設備還配備了接收來自其他設備的外部輸入，例如能夠接受來自中央計算機的自動命令、診斷例程和信息。這有助於確保更高的精確度和對植入過程的控制。總體而言，E11114360是一個功能強大且精確的離子植入器/顯示器系統，設計用於半導體器件制造行業。其特點包括高精度真空控制、植入參數自動控制、柔性束線架構、延遲場能量分析儀、位置敏感檢測器、原位離子電流監測器。適用於各種生產設置，確保植入過程中更高的可靠性和準確性。