二手 VARIAN E11117551 #293639520 待售

VARIAN E11117551是一種創新的離子植入器和顯示器，設計用於半導體制造應用。它能夠為各種應用提供精確控制、統一和可重復的植入條件。E11117551可以針對任何植入過程和加載參數進行定制，從而為不同的材料植入物提供靈活性。它設計用於中、高劑量植入，為電流和劑量控制提供了高精度。該裝置利用一個5 MHz的50 kHz自激發納米脈沖電子源來獲得確切的所需劑量，電流範圍可以在0.7到10,000 μ A，能量可以在3到100 keV。植入物參數的夾緊是通過對光束電流、光束擴散和光束斑點大小的密切監測和精確控制來實現的。VARIAN E11117551有一個強大的真空室，帶有兩級液氮兩級冷凍泵，可以快速清除該室。它還配備了一個負載鎖，可以快速、方便地裝載樣品，同時保持更清潔、無汙染的環境。該裝置通過監測芯片速率、束電流、劑量分布和總離子劑量，具有在重載時保持性能的能力。聯鎖安全功能確保正確的安全操作,診斷監視器支持實時診斷。E11117551專為可重復、可靠的性能而設計,最大延遲為0.5isec。操作員可以利用其實時X射線監視器監控X射線位置。它還允許芯片速率控制，使用每秒操作的設定百分比來測量束電流和劑量。這可以防止植入中的劑量累積，提供可重復和均勻的劑量。該裝置包含所有必要的輻射安全保護機制，並保護人員和設備，以便在工業環境中安全使用。其易於使用的圖形用戶界面使得VARIAN的操作E11117551簡單，允許操作員監控、調整和執行植入會話，同時保持清晰簡潔。E11117551具有廣泛的特點，使其在半導體行業中脫穎而出。VARIAN E11117551從其精確控制和劑量測量功能,到其安全特性和終極保護,為您的所有半導體植入需求提供可靠且高性能的操作。