二手 VARIAN E17179550 #9002204 待售

VARIAN E17179550是一種最先進的離子植入器和顯示器，旨在產生要植入到諸如半導體晶圓這樣的基板中的離子。它配備了25 MHz的射頻源、寬範圍的加速電壓（50至400 KV）和同位素分離系統。其先進的高分辨率法拉第杯監測能夠精確控制和調整劑量率，通過整個晶片提供均勻的離子植入。E17179550還包括一個高通量、高質量的離子收集器，它能夠準確測量光束大小和能量分布，以及有效的光束診斷。另一個重要特征是它的真空樣品加熱器，可以在植入前將晶片均勻加熱到最佳溫度。VARIAN E17179550具有很高的可靠性和熱穩定性,具有較低的磁場耐受能力.這使得它特別適合生產具有一致結果的小批量或大批量植入物，從而提高基材產量，降低客戶成本。它融入生產線很簡單，單位需要極少的操作員幹預才能進行適當的操作和維護。E17179550是一種可靠、高性能、精密的離子植入器和監控器，適用於半導體和光電行業的各種植入技術。