二手 VARIAN E19001300 #158850 待售

VARIAN E19001300是為半導體器件生產而設計的先進離子植入器和顯示器。它能夠產生高達20 kV的植入物能量和高達6.5 mA的電流容量，從而使離子束更重的摻雜成為可能。這種離子植入器和顯示器提供了卓越的性能和控制，同時減少了設置時間，以處理均勻的摻雜層，有助於提高設備的產量和性能。E19001300專為高質量、均勻的離子註入而設計，具有廣泛的光束能量、電流水平和角度擴展。它的數字信號允許本機控制光束參數，並最大限度地減少不受控制的高能光束造成的損害。設備配有可激活的anbuilt-in遮陽板，實時監控離子束，提供樣品表面的完整視圖，同時允許操作員在不犧牲工藝結果的情況下保持最佳光束控制。除了離子植入能力外，VARIAN E19001300還支持各種類型的化學分析和過程表征。這些功能包括植入樣品的高級橫截面分析、用於改進過程理解的元素映射,以及用於改進過程可重復性的自動化過程監控。通過這些特性，系統可以生成完整的自上而下和橫截面的多路復用數據集，在原子層面揭示重要的器件特性。E19001300還提供易於使用的用戶界面和過程控制軟件。該單元包括一個可靠的子程序庫，使用戶能夠快速回憶植入配方和參數以節省時間。為了促進現有生產線的高效集成，該機器包括一個綜合安全工具、遙控操作和資產自我診斷。總之，VARIAN E19001300是一種可靠、功能強大的離子植入器和顯示器，旨在確保設備生產的最佳質量和吞吐量。它提供對波束參數的高精度控制、自動化的過程監控以及易於使用的強大用戶界面。該模型可靠性高，結果可靠，是高效制造設備的理想選擇。