二手 VARIAN E19002370B #149061 待售

VARIAN E19002370B是一種用於工藝半導體器件制造的離子植入器和監控器.它是一種先進的工具，具有多種功能，可以精確調整、監測和控制離子植入過程。該單元的主要部件包括射頻發生器、離子源、光束線、光學、掃描設備和環境控制單元（ECU）。高壓發電機提供了在離子沿著光束線傳播時加速離子所需的能量。位於束線末端的離子源被設計為產生一束具有所需能量和劑量的離子束。該掃描系統由運動階段和控制電子設備組成，用於控制光束的偏轉和位置。該光學器件用於優化光束進入基板之前的形狀。最後，環境控制單元在植入過程中保持過程溫度和壓力。E19002370B還配備了監控單元，使操作員能夠在植入過程中精確調整所有參數。它可以讓他們設定光束的能量、氣體壓力、劑量率和掃描時間。此外，機器可以被編程來調整這些參數，這取決於被內爆基板的類型。該單元還配備了多參數監控工具，以確保成功植入，並提供有關過程的詳細信息。該資產記錄並顯示各種參數，如電流密度、劑量、壁電流、束電流和束能量。此外，該單元可以遠程操作，允許同時進行多次植入。VARIAN E19002370B是一種強大而精確的植入和監控工具，能夠處理所有類型的矽片。通過提供對植入過程的精確控制和監控，確保了所有半導體器件的最高質量。