二手 VARIAN E19002442-2 #140342 待售

VARIAN E19002442-2是一個最先進的離子植入器和監控系統，能夠以高精度和精確度進行植入和其他相關過程。它由一個源噴射器、源提取器、粒子束監測器、基板支架、肘室、低能量光束傳輸、光束臺階監測器和能量選擇器組成，均由中央控制面板控制。源註射器用於向光束中註入離子。它由燈絲和電極組成。燈絲被用來產生正離子並將它們導入電極，可以調整以改變光束強度。源提取器有助於精確地從光束中提取離子，並過濾掉不需要的顆粒。粒子束監測器將離子引導到所需的位置，基板支架在植入過程中將基板保持在正確的位置。肘室是系統中的主腔室，具有可旋轉的腔室，可以在保持遠光束電流的同時精確操縱光束。低能光束傳輸是一種可以調整的光束傳輸系統，可以引導和控制光束的角度和入射角。能量選擇器是用於精確設定植入離子能量的能量校準器。最後，采用束步監測儀測量離子註入的劑量沈積速率。所有這些組件都連接到中央控制面板,以完全控制離子植入器。E19002442-2非常適合各種植入過程，從低到高能量水平，從低到高劑量，從低到高溫。它可靠易用，是高效、精確的離子植入的理想選擇。