二手 VARIAN E19002442-2 #9037843 待售

VARIAN E19002442-2是一種最先進的離子植入器和監控器，設計用於將離子精確植入材料中，以便在半導體和微加工工業中得到大量應用。它是一種基於場發射離子源和串聯光束線的自動化裝置，具有四個完全可編程的分析和模擬室。植入過程采用電子控制，允許精密植入選定離子，無需人工幹預。E19002442-2配有高分辨率離子光學系統，可在植入過程中精確控制離子束，確保離子準確植入目標深度。它還具有串聯的光束線，用於監測離子註入過程。這包括一個光譜儀，一個碰撞濾波器，以及測量光束參數並允許在植入過程中進行自動分析和反饋的探測器。VARIAN E19002442-2能夠植入大量含有1至8種元素的元素和雞尾酒。它可以在0-4 keV的範圍內產生廣泛的植入能量，並能產生每秒1 × 1015至5 × 1018的劑量。它還具有精心設計的帶有E-PROM的安全系統,該系統預先存儲所有操作參數,並具有額外的保護措施以防止故障。E19002442-2提供高精度的離子註入，具有均勻的劑量分布、低電壓加速度、精確的光束掃描和高精度的光束電流。該裝置可用於矽植入基板的研發，以及MEMS和微光刻領域晶片的生產。它也被用於VLSI和ULSI微電子中芯片的批量生產。與行業標準植入器相比,VARIAN E19002442-2提供了更高的吞吐量,這要歸功於其強大的數字系統。目前在世界範圍內用於需要高精度離子植入的多種應用，包括制造高質量的集成電路、半導體晶片和其他微加工材料。