二手 VARIAN E19013590 #148786 待售

VARIAN E19013590是為半導體器件制造應用而設計的最先進的離子植入器和顯示器。它結合了復雜的離子植入和監控技術，使經濟高效，高性能的操作跨越了各種各樣的應用。該設備采用了一種全新的一對一光束點監測技術，能夠實時測量光束直徑，提供可靠、可重復的結果。該系統配備了1000 x 1000 mm掃描區域和500 mm晶圓級，適合各種設備布局和處理時間。它包括一個400毫米低能離子源，用於產生所需的離子束，一個光學濾波器和一個光束監測器，以確保最佳的光束強度、擴散和傳輸。它還有一個集成的過程控制單元，帶有一個反饋循環，允許用戶在植入過程中調整過程參數。流程控制機還包括一系列可根據用戶特定流程需求定制的預設模板。E19013590被設計為提供優化的質量和吞吐量在中高劑量離子植入物。它能夠產生0.1到10keV的束劑量率，最大束能量為400keV。該工具能夠同時摻雜多達20層，具有精確的光束劑量控制和高達每秒50脈沖的高能脈沖模式。它還具有一系列用於植入各種樣本量和材料的樣本支持適配器。此外,該設備還采用集成的鎖定機制,防止意外的離子註入,並在遇到障礙物時強制遮擋光束,從而實現了高可靠性和高安全性。它還包括連續監測陽極溫度、數字光束監測器和CPU溫度監測系統，以確保安全可靠的運行。此外,該型號符合最新的安全標準,包括CE、ISO 13485和RoHS。總體而言,VARIAN E19013590是一款先進、高性能的離子植入器和顯示器,為用戶提供了一種經濟高效且可靠的半導體器件制造過程解決方案。其最先進的技術和安全特性確保了植入各種材料的可靠操作和質量結果。