二手 VARIAN E19013590 #9070880 待售

VARIAN E19013590是一種用於半導體器件制造的離子植入器和監控器。由於精度高、性能可靠、操作成本低，廣泛應用於半導體行業。以高深度控制植入摻雜劑的能力而著稱。E19013590設備包括離子植入器、光束減速器、監視器室和一組操縱器。離子植入器是一種高電流、低能量、可變能量的離子植入器。它能夠在可調深度植入摻雜劑，從幾百埃到幾千埃。光束減速器用來減慢離子植入器中的離子，這樣即使在較低的能量下也能獲得更令人印象深刻的控制。監視器室允許在操作過程中測量條件離子，以便在需要時可以調整工藝條件。VARIAN E19013590配備精密操縱器,可在植入過程中精確控制晶圓。它還具有可選的靜電卡盤,可提供額外的保護和位置精度。該系統能夠提供均勻的劑量分布和良好的深度控制。劑量率是可調的，從0.5到50 dpa/s不等。該單元配備了廣泛的真空和安全聯鎖裝置，以及先進的診斷監控機器。它可以隨時監視工具中的所有組件,以便能夠識別和避免潛在的危險。此外，這項資產還附有多種配件，如各種來源、百葉窗、電極組件等。它還提供了與連接的氣源的直接接口，允許快速的源變化。模型可以遠程調整,所有必要的調整都是通過計算機進行的。總體而言,E19013590離子植入器和顯示器提供準確、可靠、經濟的半導體器件制造.它配備了一系列的安全聯鎖和診斷監控，其精密的配件使其成為強大的植入工具。