二手 VARIAN E200 #293764348 待售

VARIAN E200
ID: 293764348
Ion implanter.
VARIAN E200是VARIAN公司的離子植入器和監控設備。該系統由大型機、波束線、數字植入控制器和顯示器組成。大型機作為主要的中央處理器,數字植入控制器負責控制和監控給定應用程序的波束線參數,而監視器負責監控設備的性能。大型機由20 MHz摩托羅拉68030處理器、256 kB RAM、16 kB非易失性內存、3.5英寸軟盤驅動器和40 MB硬盤驅動器組成。光束線包括植入器、能量發生器和光束線磁體。植入器包含離子源、光圈輪和掃描磁鐵電源。能量發生器由一個可編程的高壓直流電源、一個10或30 kV的太面體以及各種清掃線圈組成。光束線磁體有兩個截面:主軸磁體和次軸磁體.數字植入物控制器是一種先進的軟件控制機器,用於控制給定應用期間植入物劑量的輸送。它由10 MHz處理器、1 MB RAM、4 MB非易失性內存、VGA彩色顯示器和全鍵盤組成。它提供了一套全面的植入物劑量控制特點,包括光束調節、劑量調節、植入物速率調節以及植入物過程的其他控制參數。監視器負責監視工具的性能並顯示關鍵的操作參數。它由模擬監視器、數字顯示器和狀態指示器組成。模擬監視器以直觀的格式顯示測量的參數,如電流、電壓和溫度數據。數字顯示顯示了光束狀態、註入狀態、電流和電壓水平等狀態指標。該資產配備了互鎖模型和隔離設備等先進的安全功能。聯鎖系統可防止植入器意外通電,並在出現錯誤時斷開植入器與光束線的連接。隔離裝置將光束線與植入器電隔離,防止任何輻射排放。E200是一種高度可靠、通用、精確的植入器和監控器。其先進的特性、易用性和安全特性使其成為各種植入工藝的理想選擇。
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