二手 VARIAN E220 / E500 #293767838 待售
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ID: 293767838
Part number / Description
E15000201 / Motion controller board
E15001670 / PCB, Gas flow control
D-E15001650 / PCB 24 Digital output
E15001660 / Gas flow control PWR/BTL Pressure
E15002350, D-E150023, E15002363 / PCB Sub power supply controller
104434001 / PCB Gauss meter
E11000022 / Suppression power supply
E11001000 / Right ARM Servo controller
E11001000 / Left ARM Servo controller
E11038040 / Dual vaporize power supply
E15002350, D-E150023, E15002363 / PCB Subassy power supply controller
E17136530, E17094450 / Source housing
E19003380 / TREK E-clamp supply
E11001410 / Oriental controller
E11033360 / Gas box chassis
E11037750 / Manipulator for old gear type
E11037754 / Manipulator for new gear type
E11030500, E11120770 / Roplat drive assembly (ESC type)
E11050502 / Rotate sensor roplat cable
E11004140 / 60 KV Mirror power supply.
VARIAN E220/ E500是一種先進的離子植入器和監控器。它具有模塊化、可擴展性和經濟效益,是半導體制造操作的絕佳選擇。E220/ E500具有雙植入通道能力,使用戶能夠在所有能量（從低到高）下實現高、一致的聚焦深度結果,同時實現雜質和摻雜植入物的理想配置。VARIAN E220/ E500為用戶提供高級監控功能，允許用戶實現亞納米均勻性。利用高分辨率通道分離，E220/ E500可以為定向植入物產生非常細粒的均勻性，這對於實現精確的晶體管性能至關重要。此外,VARIAN E220/ E500還通過合並優化的光束分布,在大面積上提供光束均勻性和能量精度。E220/ E500還具有廣泛的過程選項以及可定制的控制參數。預定義的配置允許用戶快速設置進程,而諸如高斯整形、多路、匹配制表符和多層序列等功能可確保多層之間的準確性和均勻性。VARIAN E220/ E500能夠執行高壓、高能量植入物以及低壓、低能量植入物,並能夠調整電源以匹配所需的植入物參數。此外，E220/ E500還配備了流程控制硬件和軟件，能夠分析流程相關參數。系統使用實時X射線光譜法查看光束輪廓並將其精確聚焦到目標表面上。基於軟件的光束控制保證監控植入物的準確性，並將獲得的數據與用戶定義的設定點進行比較，表明與設定的過程參數有任何偏差。最後，光束檢測系統使操作員能夠診斷和排除光束相關問題。總之,VARIAN E220/ E500是一種有效的離子植入器和監測器.其先進的特性和能力，以及過程控制和監控，確保了準確和均勻的植入物，同時也促進了故障排除和診斷。所有這些特性，加上其強大的可擴展性，使得E220/ E500成為半導體制造操作的絕佳選擇。
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