二手 VARIAN E220 #9237371 待售

VARIAN E220是一種先進的離子植入器和監測器，旨在將帶電粒子的區域精確地沈積到半導體材料中，以改變其電性能。離子植入器用途廣泛，可用於工業和研究環境中的多種應用。VARIAN E-220的主要機理是離子源，用於從氣體或固體源產生穩定的帶電粒子流。這根離子束再由一系列磁透鏡和脈沖電源操縱和加速，這決定了光束粒子的強度和能量。然後將該光束定向並聚焦到目標材料或基板上，從而使帶正電或負電的粒子精確沈積到目標材料中。E 220具有許多先進的監測和控制系統，以確保植入條件的一致性和準確性。這包括補償光束電流變化的補償系統、掃描樣品區域以測量表面輪廓的掃描檢測器以及設置光束強度和能量水平的控制系統。附加功能包括一個用於監測光束中粒子的原位分析系統，以及一個用於控制操作參數和數據記錄的中央處理單元（CPU）。VARIAN E 220是一種高效可靠的工具，用於將離子植入到各種應用的基板上。它能夠生產高精度植入物，可用於多種半導體工藝，如摻雜、活化、鈍化薄膜等。監測系統提供了對植入物參數的更大控制，如劑量、能量和斑點大小，確保了一致的高質量結果。易用性和功能範圍使E220成為工業和學術過程的理想選擇。