二手 VARIAN E220 #9257302 待售
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已售出
ID: 9257302
晶圓大小: 8"
優質的: 1994
Ion implanters, 8"
Type: Medium current implanter
SEIKI STP-1000C Vacuum turbo I/S
SEIKI STP-300 ANA Turbo
SEIKI STP-1000 B/L Turbo
Vacuum rough I/S: EBARA 40 x 20
Stage: EBARA 50 x 20 UERR 6M
Load lock: EBARA A30W
Gas box: HP type
(4) Gas bottles:
PH3-s
AsH3-s
BF3
Busshing EHP type
Source head bernas
Arc power supply CPI
Mirror readback
Reducer: (2) Steps
Scan post scan chamber
Scan generator trek PS
Linear servo copley
Wafer clamp mechanical: 6 Points
Roplat: (Controller P/N:E11048880)
Tilter: (Controller P/N:E11048890)
Travelling faraday TVL
Main monitor flat-panel
Decel auto
HV Probe
Exhaust leak detect
Gas Interlock Unit
Interface PD
No vaporizer
1994 vintage.
VARIAN E220是由VARIAN Semiconductor Equipment Group制造的高級離子植入器和顯示器。VARIAN E-220專為提高生產率和降低成本而設計,使半導體芯片制造商能夠快速生產高性能、低功耗的設備。E 220植入物和監視器具有高質量的精密植入物，具有低噪音水平和均勻性，同時保持相對緊湊。VARIAN E 220具有兩個獨立的驅動系統，一個全雙工離子源和一個高電流電子源，以達到最佳性能。這項技術使離子束和電子束都能植入芯片。此外，E220還利用易於使用的圖形用戶界面，對植入條件進行準確、實時的監控。E-220特征的束流範圍可達25mA，電壓範圍可達950V，能量範圍可達25keV，從而能夠傳遞更大範圍的離子。植入器還具有三電極配置、沈積監控器和可傾斜的自動基板屏蔽器，具有多達八級的基板保護。這使得離子和電子的精確傳遞不會過度滲透。VARIAN E220配備了先進的可編程傳送系統，能夠控制各種各樣的變量，如總束電流、脈沖間的定時、傳遞的總劑量等。它還包括自動等離子體清潔器和預編程例程,這些例程允許更高的吞吐量率和提高生產率。此外,VARIAN E-220還具有預測性維護系統,旨在識別潛在的磨損區域,並對任何異常操作條件提供預警,從而提高其可靠性和正常運行時間。E 220是一種可靠、精確的離子植入器和顯示器,非常適合需要高質量設備的生產環境。VARIAN E 220具有自動化和手動操作以及先進的安全和控制系統,為各種半導體芯片制造商提供了最高的精度和效率。
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