二手 VARIAN E220 #9262460 待售

VARIAN E220 Ion Implanter and Monitor是一種高性能設備,專為將硼或磷植入半導體晶片而設計。利用離子加速器設計的最新技術，提供了優良的工藝控制和精度。離子註入過程需要高功率、低壓開關以及對光束強度和聚焦參數的精確控制。VARIAN E-220是一種完全可編程的模塊化機器，有多種選擇，包括能量選擇設備和光束光柵。能量選擇系統具有一個P2靜電掃描單元，允許同時植入多個具有不同動能的高能離子或離子。光柵機可以讓用戶輕松調整光束參數，掃描晶片表面。光束參數可根據特定應用量身定制，如超淺接頭植入物，或生育力低的離子。E 220還具有高分辨率PML500電荷耦合器件攝像頭工具。該資產使用位置敏感檢測器來精確監控離子植入過程。該相機可用於檢測和診斷植入物輪廓的任何變化。E220的控制電子軟件包是最先進的,它利用了多種軟件參數,包括集成過程控制（IPC）模型。IPC設備提供了一整套監控離子植入過程的功能。該系統可用於自動控制加速度電壓、光束強度、光束光柵或面積以及劑量率。VARIAN E 220還包括一個脈沖發生器單元和一個能量控制單元。脈沖發生器產生電壓方波，該電壓方波決定離子植入器的光束運行頻率和總時間。能量控制單元提供對光束能量的精確控制，並確保光束能量在過程中保持恒定。總體而言,E-220離子植入器和監視器是一個強大而可靠的植入工具.它提供了出色的過程控制和精確度,以及確保檢測和診斷植入物輪廓變化的功能。它是半導體的重要工具和離子加速器設計的最新技術。