二手 VARIAN E220 #9270111 待售
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ID: 9270111
Medium current ion implanter, 6"
Hard Disk Drive (HDD)
SEIKO SEIKI Turbo pumps
EDWARDS Booster pump with (2) ADIXEN scrolls
Load locks with VARIAN Turbo-V 250 pumps
CTI-CRYOGENICS 10F (on-board) Cryo pump, P/N 8116164G002R
CTI-CRYOGENICS 9600 Helium compressor
Bernas head type
Suppression surge protector
Reducer: 2 Steps
Mirror read back
Post scan chamber
Wafer clamp and roplat: E-clamp
Main monitor touch screen, 19"
Service monitor: Remote module
Auto decel
HV Probe
Exhaust leak detect
Gas interlock unit
Gas box type:
BF3: High pressure
PH3: SDS
AsH3: SDS
Ar: High pressure
Filament PS: CPI
Arc power supply: CPI.
VARIAN E220是一個離子植入器和監控系統，設計用於半導體工業。該裝置能夠提供離子註入和廢水監測，以制造晶體管、二極管和集成電路等裝置。VARIAN E-220能夠以極高的精度從高能離子束中傳遞三代離子通量分布。由於植入單個晶片的成本大大降低,因此可以節省大量資金。E 220具有低光束發散的可變光束擴散，使其達到高劑量率，其晶圓速度和光束對準與可編程模式偏移的調制，優化光束優化因子，均勻度高於競爭性植入系統。VARIAN E 220設計為最大的彈性和可靠性，使其可以處理多種植入物和多種基底。它的標稱工作能量範圍可以在0.1至250 keV之間，其最大束電流範圍在0.1至100.A之間。有了這些設置,操作員就可以使用業界可達到的最高精度的離子植入物。E220還包括一整套廢水監測，允許控制和遵守任何與工藝有關的廢氣要求。通過其車載控制監控系統，用戶可以監控真空泵、氣流、壓力、鎖載室、射頻發生器和診斷工具，允許根據需要對過程變化做出快速準確的反應。E-220是一種經濟高效、可靠的離子植入和廢水監測選擇。它的各種特性和操作模式使其能夠在最復雜的半導體制造過程中蓬勃發展。其近束發散、高劑量率和高精度離子植入物使VARIAN E220任何需要可靠高效植入的組織的最佳選擇。
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