二手 VARIAN E220 #9272647 待售

VARIAN E220離子植入器和監測器是一種高精度、最先進的工具，設計用於將摻雜劑植入半導體晶片並監測其植入。這臺機器的設計具有成本效益，但堅固耐用，能夠以均勻的速率和深度精確地監測和植入所需的基材中。VARIAN E-220具有可調的離子加速度和減速，為用戶提供更精確的植入和監視器所需的最佳劑量均勻性。這臺機器能夠同時分析多達十六個晶片，並具有一個可調的離子植入器束，最大植入電流高達200mA，可變光束點尺寸高達直徑4mm。E 220還具有確保晶圓放置和定向精度的樣品跟蹤器和表進料系統。它還有一個先進的發射反饋系統，用於精確的植入。VARIAN E 220具有集成的細胞內植入器（OCI），通過控制離子束電流和樣品位置減速來優化植入深度。該OCI已被證明在整個晶片上提供均勻的摻雜濃度和劑量分布。這臺機器還有一個OCI監視器，可以用兩脈沖周期實時監測離子註入。E-220離子植入器和監控器被設計為能效高，資源的最佳利用。通過現場監測和控制植入物束電流，提高了過程控制，提高了生產產量。E220的數據采集和分析功能還提供了寶貴的數據,可用於提高可重復性和降低生產成本。