二手 VARIAN E220HP #9237131 待售
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已售出
ID: 9237131
晶圓大小: 8"
優質的: 1994
Ion implanter, 8"
Terminal module / Gas cabinet:
Gas cylinder volume: 4 ltrs
No Ar (External / Internal)
AsH3 Cylinder type: High pressure
PH3 Cylinder type: SDS 2.25L
BF3 Cylinder type: High pressure 1L
Gas line purge
No dual vaporizer option
M-Chuck
Terminal module / Source:
Source head type: Bernus
Source bushing type: EHP
No source magnet polarity switch
No 2 steps reducer type option
Terminal module / Beam-line:
Scan generator: 20 kV
Mirror: 30 kV
Automatic graded decel relay & P/S
No hall probe option
Beam energy probe option
End station module:
Wafer handler platform type: Standard
Platen type: M-Clamp
Roplat & tilt type
Travel faraday type: TVL Faraday
No metal contamination reduction kit option
CVCF
Enclosure:
No video viewing of wafer loading
No three light signal tower
Smoke detectors
No water leak detectors
No service monitor
Accessories:
Source turbo pump type: SEIKO STP-1000C
Analyzer turbo pump type: SEIKO STP-300C
Beam-line turbo pump type: SEIKO STP-1000C
Source rough pump type: EBARA 40x20
No beam line booster pump
Stage pump type: EBARA 50x20
L/L Pump type: EBARA A30W
Target cryo pump type: CTI-250
Load lock pump type: AISHIN GD263
Cryo compressor type: SUZUKI C300
Remote PD
Option: Beam drift monitor
System PC: 1 GHz
Spare parts:
Ion source head
Terminal insulator
1994 vintage.
VARIAN E220HP端站是一種最先進的離子植入器和監控器。它是一個先進的設備設計，以提供最大的光束電流和能量穩定。該系統的多用途主力軍配備了尖端技術，以確保植入和監測植入物的深度、傾斜和均勻性的最佳效果。該裝置由能效高的雙波束加速器提供動力，能夠以單波束或多波束模式運行。這允許更大的靈活性和更大的控制植入和劑量控制每一個應用。機器還配備了堅固的屏蔽組件，旨在減少來自加速器的輻射排放。該工具的這一特點確保了工作環境的安全，並且所產生的植入物的質量是最高的質量。為了監測植入物輪廓，該資產配備了高精度光束調諧模型，可以精確控制光束的位置和劑量分布。監測設備還可以測量植入物的不均勻性。它包括能夠快速識別非統一區域並提供解決問題的解決方案的軟件。該系統還包括各種診斷工具，可用於進一步微調過程，確保植入物的質量和可靠性最高。該單元還配有一個用戶友好的界面，允許操作員輕松管理整個植入過程。它的圖形用戶界面允許方便的導航，所有必要的設置可以通過幾次點擊來管理。這使得整個植入過程更加高效，減少了完成過程所需的時間。VARIAN E220 HP還被設計為提供最大的機器正常運行時間和可靠性。它有一個自我監控工具，可以在問題成為問題之前發現問題，並提醒操作員。該機器還具有自動維護協議和用戶定義的維護例程,這有助於始終保持高效運行。E 220 HP是尋找高性能離子植入器和顯示器的制造商的理想資產。憑借其最先進的特性、堅固的屏蔽組件和用戶友好的界面，它在效率和可靠性方面都能提供盡可能高質量的植入物。
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