二手 VARIAN E220HP #9237387 待售
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已售出
ID: 9237387
晶圓大小: 8"
優質的: 1995
Ion implanter, 8"
Main components:
End station module
Terminal module
Services module
PC & Monitor
Accel column
Accel stack
Accel PSU & tray
Accel suppession PSU
Decel PSU
Enclosure
Signal tower & HV lights
Signal tower controller box
Exhaust leakage box
No remote PC & monitor
End station services module:
Right arm servo controller
Vacuum gauge controller
Scanning faraday controller
Platen tilt servo controller
Uniformity controller
Liner motor servo controller
Orienter controller
Left elevator controller
Right elevator controller
E-Chuck clamp PSU
Dose integrator controller
D.I. Temp monitor
Vertical lift orienter
No electric flood controller
No UPS
Terminal PSU & Assy:
Set-up faraday cup assy
Extraction manipulator
Motion controller
Swing out arm decel
Relay arm decel assy
Set-up mirror assy
Neutral dump assy
Anal beam dump assy
Source mag assy
Anal mag assy
Quad mag assy
Lens mag assy
Scan controller
Scan generator: 20Kv
Set-up faraday pre-amp
Vacuum gauge controller
Scan assy
Analyzer PSU
Extraction PSU
Lens PSU
Suppression PSU
Mirror PSU: 30 Kv
Source mag PSU
No 30 Kv scan generator
No Mirror 60 Kv PSU
Source head & gas cabinet:
Source head
Arc PSU
Filament PSU
No vaporizer
No vaporizer PSU
Gas module:
(2) AsH3: SDS
PH3: SDS
(3) BF3: SDS
(4) Ar: Diss, CGA 580
Vacuum system:
EDWARDS / SEIKO SEIKI STP-1000C Source turbo pump
EDWARDS / SEIKO SEIKI STP-300 Resolve turbo pump
EDWARDS / SEIKO SEIKI STP-1000 End station cryo pump
CTI 250F Load / R cryo pump
CTI 4F Load / L cryo pump
CTI 4F Beam-line turbo pump
1995 vintage.
VARIAN E220HP是一種用於高精度植入和過程控制應用的離子植入器和顯示器。它在高劑量率、精確光束參數、光源位置精度和更好的光束均勻性控制等幾個方面提供了優異的性能。VARIAN E220 HP的設計目的是提供高達80μA/cm2的高劑量率.離子源具有可調節的光斑大小,可以在1.2到3.2mm之間進行更改。梁的均勻性提供了精確的梁參數，提高了結果的精度和可靠性。包括一個高度敏感的位置反饋設備，用於精確定位光束和強度剖面。監視器包括一個自動化的兩步監視器,用於測量和控制光束均勻性和輪廓參數。該監視器可進行調整，以滿足不同的沈積要求，並保持光束可重復性，± 0.5%。它還使用戶能夠預置配置文件，其高級控制設置可以提高顆粒濃度和均勻性。E 220 HP還有一個過程控制系統，可以隨著技術的改進而安全校準。該裝置經常為每次植入操作捕獲和存儲過程數據，這有助於確保準確性和可追蹤性。可以訪問此數據以調查流程差異或提供關鍵的流程控制文檔。除了先進的控制功能外,E220HP還安裝了多種安全措施。它具有廣泛的報警功能，如泵、風扇或能量監測報警，確保對操作員和周圍環境的最佳保護。總之,E220 HP是一款先進且可靠的離子植入器和顯示器,為用戶提供卓越的性能。VARIAN E 220 HP的高劑量率、精確的光束參數、光束的精確定位、先進的工藝控制機等都是VARIAN E 220 HP植入和工藝控制應用的重要選擇。
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