二手 VARIAN E220HP #9259892 待售
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單擊可縮放
ID: 9259892
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
Ion implanter, 8"
Gas cabinet:
Gas cylinder volume (liter): 1.0 Liter
Internal Ar
AsH3 Cylinder type: Vaporizer
PH3 Cylinder type: High pressure
BF3 Cylinder type: High pressure
Gas line purge
Vaporizer P.S
Source:
Source head type: Bernas
No reducer type 2 step
Beam line:
Scan generator: 20 kV
Mirror: 30 kV
No automatic graded decel relay and P/S
No hall probe
End station:
Old platform
M-Clamp
Three light signal tower
VESDA Smoke detectors
Service monitor
No control computer CVCF
No video viewing of wafer loading
Accessory:
STP-1000C Source turbo pump
STP-300C Analyzer turbo pump
STP-1000 Beam line turbo pump
QDP80 Source rough pump
QDP40 Stage pump
QMP250/QDP40 End station pump
SUZUKI SHOKAN A250F Target cryo pump
SUZUKI SHOKAN A100L Load lock pump
SUZUKI SHOKAN C300 Cryo compressor
No remote PD
Vaporizer power supply missing
1996 vintage.
VARIAN E220HP是一種用於將精確劑量的離子植入半導體材料的高精度離子植入器和監測器。它是一種通用的自動化設備，可用於各種植入應用。該系統配備了多種能夠最大限度地提高效率和精度的功能。VARIAN E220 HP由離子源、加速器、光束控制單元和工藝室組成。離子源產生並加速註入的離子達到精確的能量。離子源配有真空和冷凍泵送系統，以及用於最佳植入性能的溫度控制器。加速器的設計目的是為基板提供高能離子束。它也可用於在植入基板前將光束能量調諧到更下遊。光束控制機是為精確控制光束角度和強度而設計的.該工具還具有一個可以在植入過程中精確調節離子提取和束角的提取器。該工藝室由不銹鋼外殼構成，可提供出色的防汙保護，並能精確控制工藝條件。該資產具有高度自動化的用戶界面，允許用戶快速、輕松地設置復雜的植入過程。離子元素組成、離子能量和束角等參數都可以直接從用戶界面調節。此外，該模型還可以通過外部計算機與其他系統集成。這在處理多種植入過程時提供了額外的靈活性和精確度。E 220 HP旨在實現最高的可靠性和一致的性能。它旨在承受嚴謹的環境條件，例如工業應用中出現的溫度和濕度變化。這樣可以確保設備即使在惡劣的工作條件下也能不間斷地工作。此外，該系統還配備了一些診斷和監測系統，可以在設備故障發生之前對其進行檢測和識別。對於那些需要將離子精確植入半導體材料的人來說，E220 HP是一個極好的選擇。其先進的控制和自動化系統提供了最大的精度和效率,使用戶能夠最大限度地提高生產效率。其可靠的性能使其適合廣泛的工業應用。
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