二手 VARIAN E220HP #9279486 待售
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已售出
ID: 9279486
優質的: 1995
Medium current ion implanter
Platen (Mechnical), 6"
Roplat
Tilter: Vertical type
Gas box type: 4 Gas high press
1995 vintage.
VARIAN E220HP是半導體制造過程中使用的離子植入器和監控器。它是一種革命性的設備,當與高壓氣源結合使用時,能夠快速而精確地將各種植入離子植入基板。VARIAN E220 HP包括一個用於精確測量植入離子的監視器和一個可以精確放置離子的對準系統。E 220 HP具有電子轟擊(EB)源,它提供了用植入離子轟擊基板表面的能量。可以調整這一能級,以達到所需的離子濃度和能級,允許對植入的離子進行嚴格控制。此外,還可以使用先進的激光對準系統實時監控整個系統。這使得植入器能夠快速準確地使離子與基板表面對齊,從而增加對植入過程的控制程度。VARIAN E 220 HP采用二次發射技術,以確保在將離子植入基板時具有一致和可靠的光束。該技術為離子植入器提供均勻的離子束,確保植入的離子均勻分布在目標表面上。此外,E220 HP提供了多種不同的植入策略,可用於進一步完善植入的離子。這些策略的範圍從雪崩去核到速調管加速,並為特定的植入目的提供了一系列的能力。最後,E220HP利用高速處理器可以同時運行多個植入序列,允許並行植入多個基質。該處理器還允許植入器達到高達500 msec的超高植入速度。此外,它還能夠存儲大量數據,從而便於在植入圖和結果上對數據進行召回和自動分析。總體而言,VARIAN E220HP是一種功能強大且用途廣泛的離子植入器和監控器,可增強半導體制造過程中的控制和準確性。通過提供高水平的定制和並聯植入,VARIAN E220 HP確保所有底物都能準確、均勻地植入所需的離子,從而獲得優異的效果。憑借其高處理速度和數據存儲能力,這種離子植入器和監控器是半導體行業中一個非常寶貴的工具。
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