二手 VARIAN E31000130 #293671705 待售

VARIAN E31000130是一種高性能的離子植入器和顯示器，為先進的基板表面處理提供了卓越的精度和可靠性。該裝置結合了雙光束掃描設備、先進的控制軟件和具有高精度劑量測量系統的可移動離子源，允許在整個植入過程中對動態植入參數進行可靠、可重復的控制。E31000130集成高級反饋傳感器以測量植入離子的位置、能量和數量,以確保精確控制參數以獲得最佳工藝結果。該裝置有一個雙光束掃描單元，以便對基板表面處理進行快速準確的圖像采集和劑量監測。這臺機器由強大、精確的激光驅動離子光學器件組成，具有可調、高精度的掃描角度，能夠精確控制光束的方向和劑量。激光的緊密控制掃描角度確保了離子在底物表面的最佳分布，以實現最佳的均勻劑量調節。此外，雙光束掃描工具允許快速和精確地評估基板的表面積。VARIAN E31000130允許在離子植入過程中完全控制參數。這包括對離子束電荷、電壓、每個脈沖的離子數、掃描範圍、劑量率和束電流等參數的可靠控制。其ProScan Active過程監控資產使用戶可以通過對束位置、電荷和劑量率狀態的實時反饋輕松調整離子註入周期。這樣可以快速、可靠和準確地控制植入參數,從而獲得理想的效果。該模型還集成了一系列強大的反饋傳感器，用於測量植入離子的位置、能量和數量。通過將現場值與用戶給出的在線數據庫和值進行比較，設備可以控制所有植入參數，達到所需的離子密度和均勻性。這個反饋系統還讓用戶在任何給定時刻不斷地了解劑量和光束位置。總體而言，E31000130是一個可靠和強大的設備，用於精確的離子植入和監測應用。該設備的雙光束掃描單元和集成反饋傳感器為基板表面處理提供了卓越的精度和可靠性。此外，它的可調離子束參數和主動過程監測機允許用戶精確控制所有植入參數，以獲得最佳的過程結果。