二手 VARIAN E500 EHPI #293801765 待售

VARIAN E500 EHPI是一種離子植入器和監測器，用於控制帶電粒子並將其植入半導體基板。植入器用於多個行業，包括半導體生產和包裝、航空航天和國防、通信、汽車、醫療設備制造。E500 EHPI利用直流電（DC）離子源將帶電粒子植入基板。離子植入器能夠提供廣泛的能量，從最小10 kV到最大100 kV。此外，該機器允許精確的光束控制，精度高達10微米（1/100毫米）。VARIAN E500 EHPI中的電氣部件被封裝在可互換的模塊化外殼中,使維護、維修和服務變得簡單明了。全自動設備配有一系列機械和數字元件，如導線盤、加熱器傳感器、質子探測器、溫度監測器和電子反向散射探測器。E500 EHPI設計簡單易用,具有直觀的編程和顯示菜單。VARIAN E500 EHPI可以配置各種硬件和軟件選項,例如光束電流監視器和粒子源監視器。這使得它非常適合諸如將各種材料植入不同厚度的基材等應用。該系統還能夠收集粒子光譜，可用於進一步分析。安全是E500 EHPI的一個關鍵要素，有周邊燈和緊急停止開關，還有一個互鎖的腔室門，在腔室門打開時阻止單元運行。此外，該機器還配備了真空泄漏探測器、輻射屏蔽裝置和離子束監測器。VARIAN E500 EHPI符合所有必要的安全法規,包括射頻和ESD輻射安全標準。總之,E500 EHPI是一種可靠、功能強大的離子植入器和監測器.它可以配置各種硬件和軟件選項，操作簡單方便。此外,它還具有多種安全功能,使其成為廣泛應用的安全選擇。