二手 VARIAN E500 HP #9142688 待售

VARIAN E500 HP
ID: 9142688
晶圓大小: 8"
Medium current ion implanter, 8".
VARIAN E500 HP是一種高性能的離子植入器和顯示器,旨在為植入離子提供卓越的精度和均勻性。這種植入技術被用於制造廣泛的半導體和顯示技術。該設備配備了英特爾64位架構和一系列現代控制系統等高級功能。VARIAN E500HP能夠為晶圓提供從10 nA到5 mA的各種電流水平。這使得系統可以量身定制以滿足特定的植入需求。這種植入器的高精度是由於其優越的光束電流穩定性。這種穩定性提供了對光束電流在時間上的精細和精確的控制,最小化任何電流方差並導致更均勻的最終結果。加上制造商的16位分辨率,E-500HP在離子註入的水平上提供了非凡的精確度。這種精確度也通過一些其他特性而提高,例如單位使用十通道模數轉換器在納秒時間尺度上測量束電流的能力,從而產生極精確的讀數。E-500 HP還能夠在整個植入過程中監控機器,使用戶能夠調整離子植入器參數以滿足特定要求。這是通過許多高級實現實現的,包括能夠訪問工具內存參數和從同一用戶界面監視資產。這允許用戶在植入過程中查看和調整各種設置。VARIAN E-500HP也是為安全而設計的,具有專用的系統和功能,以增強用戶的安全和保護。這包括一套全面的安全聯鎖裝置,在設備不安全的情況下防止設備進入。E500HP還設計了溫度傳感器,用於監視植入過程中的環境溫度,如果溫度超過安全水平,該傳感器將自動關閉。E500 HP植入器是一個強大而可靠的模型,能夠提供準確和精確的離子植入。它具有高精度的光束電流穩定性、16位分辨率和先進的監控能力等特點,所有這些都保證了最佳性能和安全性。
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