二手 VARIAN E500 HP #9230820 待售

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ID: 9230820
優質的: 1996
Medium current ion implanter Process gases : BF3, PH3, AsH3 Scrubber: Vector technology Chamber cryo pump: 250F Beamline turbo pump: STP-1000C Beamline dry pump: DPA-943492 Beamline turbo pump: STP-1000C L/L Cryo pump: 100 Cryo pump 9600 Compressor Power supply: 208 VAC, 3 Phase, 5 Wires, 42.3 kVA 1996 vintage.
VARIAN E500 HP是一種高端離子植入器和顯示器。它用於將離子植入和/或監測半導體材料中,用於制造電子元件。VARIAN E500HP以100kV能量分辨率的形式提供高性能精確度,同時對劑量率輸出進行了高度可靠的穩定,從而實現了卓越的植入過程。內置的HP監視器還提供了對正影響植入過程的參數的分析和跟蹤,如劑量率、能量擴散和生成離子的鏡面。E-500HP為用戶提供了多種選擇,允許用戶定制設備以滿足特定需求。集成的自動化控制系統允許用戶定制單元,以達到最優的植入參數,即使在極端的操作條件下也是如此。這臺機器提供易於學習和直觀的圖形驅動的用戶界面工具,以及直觀的樹狀視圖數據顯示,可以進行更有效的植入分析。VARIAN E 500 HP為最佳植入控制提供了光束源功率的選擇,包括單軸、雙軸和4軸光束源。先進的熱管理技術幫助用戶最大限度地發揮受控光束源的潛力,同時確保光束功率水平一致。可選的粒子傳輸工具為半導體元件的高通量生產提供了可靠和可重復的產量。它還允許改進植入物符合行業標準。E 500 HP配備了全自動原位端點檢測資產。該模型的設計目的是檢測植入過程的結束具有高度的精確度。該設備確保植入VARIAN E-500 HP的所有組件均符合最高質量和可靠性標準。除了設備本身的高性能外,用戶還可以利用一系列旨在最大限度地提高生產力的配件。這包括用於自動加載和卸載晶片的晶片處理機器人,可提高吞吐量並消除晶片的手動處理。其他附件包括用於在腔室內精確放置晶片的夾具,以及確保正確執行過程的鎖定系統。E500HP為用戶提供了先進的離子植入系統。該設備具有易於使用的界面、直觀的樹顯示、自動化控制和可靠的現場端點檢測功能,提供了一種經濟高效、可靠的精密離子植入和監控方法。結合各種配件,VARIAN E-500HP提供了多種選擇,以確保最佳的植入過程。
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