二手 VARIAN E500 HP #9262461 待售

VARIAN E500 HP
ID: 9262461
Medium current ion implanter.
VARIAN E500 HP是一種離子植入器和監測器,具有多種特性,使其成為理想的植入應用解決方案。該裝置采用創新技術,提供準確可靠的離子植入。它具有大的光束電流和大的光束尺寸集,允許更均勻的植入。此外,VARIAN E500HP通過其高精度的可變電流和磁場控制提供精確控制,從而實現更好的過程控制和提高器件產量。光束電流可以精確設置為20mA,使E-500HP適合於註入矽、砷、碳、氙等材料。大梁組保證了高產均勻性和減少表面汙染。另外,E 500 HP提供了一個光束消隱系統,確保無顆粒植入。離子監控器是可定制的,並提供精確的植入控制和連續的過程監測。VARIAN E-500HP有一系列光束輸送系統,以滿足各種植入需求。這些系統允許快速光束定位和反饋,以實現可靠的過程。利用高速、可變電流能力實現光束調制,從而實現更好的控制和定位。該裝置具有可變強度的彎曲通道磁體,非常適合在植入過程中提高均勻性和去除樣品汙染。E-500 HP還具有若幹安全系統和警報功能,以實現最佳保護。這些安全系統包括對加工室和設備部件進行主動監測,並在發生故障時自動關閉。此外,還包括一個電弧故障檢測系統,以快速檢測和熄滅任何潛在的電弧.E500 HP是一種強大而可靠的離子植入器,可用於各種植入應用。其先進的特點提供了準確可靠的工藝,提高了設備產量,同時其安全系統確保了最佳工藝安全。此外,它的光束輸送系統確保了光束的快速定位和反饋,創造了一個可靠、穩健的植入過程。
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