二手 VARIAN E500 #293625917 待售

VARIAN E500是一種用於半導體制造的高精度離子植入器和監控器。它采用雙加速器工藝，光束功率從10kW到30kW不等。加速粒子束經過電子調節和高度可靠，使用戶能夠準確控制每個植入物的劑量、能量和輪廓。這種先進的離子植入物用途廣泛，可用於從高摻雜到次閾值植入物的植入物。VARIAN E 500還包括可靠的光束監視器和現場診斷,以幫助確保用戶從設備中獲得最佳性能。在硬件方面，E-500是由不銹鋼構成的全真空室的真空密封系統。上部單元包括離子源、提取組件和高精度四軸調制器。該調制器對於確保光束精確聚焦和定向至關重要。下部是樣品級所在的位置,帶有XY運動表以實現樣品的精確定位。機器還設有掃描儀組件，用於控制進入樣品室的離子束。這個掃描組件有多達四個電偏轉線圈來偏轉光束，這使得精度下降到亞微米分辨率。此外，VARIAN E-500還有一個實驗控制子系統，它提供自動參數設置、配置文件優化和數據采集。在軟件方面,該工具運行基於Microsoft Windows的操作資產,從而確保可靠的性能。軟件為用戶提供了設置靈活性，能夠參數化光束和監視腔室條件。它還具有數據分析能力，顯示每種植入物的劑量和能量。在安全性方面，車型配備了水冷離子源，防止了設備中離子的堆積，確保了E 500的安全運行。總之，E500是一種功能強大、可靠的離子植入器和監控器，即使是最苛刻的也能處理。它提供精確的光束控制、原位診斷和自動數據采集，使用戶能夠優化植入過程。設備和軟件的結合確保用戶從系統中獲得最佳性能,同時保持安全和高效。