二手 VARIAN E500 #9229634 待售

VARIAN E500是半導體工業中使用的多功能離子植入器和監控器，提供高精度、高速度和高精度。它能夠將離子植入能量從0.1 MeV到90 MeV的多種底物中。VARIAN E 500利用先進的光束掃描設備，以及智能光學技術，提供對劑量、均勻性和劑量率的增強控制。這項技術還使人們能夠使用離子種類，例如硼、磷、砷和：其他。E-500系統易於使用，為外延矽、基板活化、矽化以及表面鈍化、摻雜等其他材料植入應用等半導體器件制造關鍵工藝提供了高度可靠的平臺。E500離子植入器和監控器設計為在各種真空系統中高效運行。它的模塊化設計使用戶能夠選擇一個包含元素的真空單元，用於選擇的過程。這樣可以確保一致的過程控制和準確性。E 500機還支持智能真空技術，對達到超高壓力的腔室條件和高效駕駛能力提供持續監控。VARIAN E-500包括一個先進的管理和控制工具,可提高產量、提高可靠性和提高過程控制效率。VARIAN E500具有用戶友好的界面,允許用戶快速準確地創建和修改流程配方。該資產還包括一個通用的圖形用戶界面，允許用戶快速可視化和編輯植入配方。該模型還允許用戶使用實時數據跟蹤和分析植入結果。除了廣泛的流程功能外,VARIAN E 500還包括多種內置診斷工具,用於快速診斷可能出現的任何問題。這些診斷工具旨在快速識別設備的問題和故障,並能夠更快地糾正或糾正措施。總體而言，E-500是一種可靠和堅固的離子植入器和監控器，它提供了增強的將離子和其他材料植入各種基材的工藝能力。該系統設計方便操作，性能可靠準確，同時采用智能光學技術實現精確劑量控制和均勻性。E500還支持智能監控功能,使用戶能夠輕松創建和修改植入配方,實時監控植入性能,並快速高效地排除任何潛在問題。