二手 VARIAN EHP-500 #9005445 待售
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已售出
ID: 9005445
Ion Implanter, 8"
Software Version : V12.15 rev D
Wafer Clamp: e-clamp
Gas Box: HP type
Gas 1: BF3 HP
Gas 2: Ph3 HP
Gas 3: AsH3 HP
Gas 4: Ar HP
Main monitor: CRT touch screen
Service monitor: CRT touch screen
Traveling Faraday Type TVL New style
Auto Decel: Yes
Source head: Bernas
Hall probe: Gauss probe
Pumps:
Source Turbo Pump – Seiko Seiki STP-1000C
Beamline Turbo Pump – Both Seiko Seiki STP-1000C & STP-300
Endstation Cryo Pump
Chamber – V-250
Load Lock – V-300
Source Dry Pump – Edwards IQDP-80
Endstation Dry Pump – Edwards QDP-80
Differential Seals – IQDP80 + Blower
Cryo Compressor - 9600
Installed, can be demonstrated
1997 vintage.
VARIAN EHP-500離子植入器是一個精密工程，高度先進，集成設備設計的現代植入物工程和物理思想。對於需要將離子植入底物的研究人員和工業工程師來說，它是一種經濟高效的工具。使用VARIAN EHP500，你可以在植入過程中獲得非常精確的離子電流、劑量率和其他參數的植入、監測和控制。EHP 500由一個產生穩定離子束的源和一個離子光學系統組成，以所需的深度和正確的角度引導它。它配備了一個光束電流控制單元，以確保和精確調節測量範圍內的電流。該機設有一個殘留氣體分析儀，用於測量殘留氣體散布的總離子電流以及在該過程中任何時候都可以監測的其他參數。VARIAN EHP 500除了具有用於數據監控的集成計算機接口外,還配備了能夠控制和設置各種參數的軟件。該軟件包括歷史記錄、劑量率和電流密度控制等功能，以及脈沖寬度調制和集成命令控制。EHP500與各種離子源和底物兼容，包括應變和松弛的通道離子、通道和規則矽離子植入、光致抗蝕劑和襯底結構，以及p型和外延底物。該工具還具有廣泛的植入介質,包括Si、Ge、C、Sn和CO。EHP-500既方便用戶又方便操作員。它采用人體工程學設計，以減少操作員疲勞，直觀的界面有助於提高效率。資產也令人難以置信的穩健；它可以處理各種條件，包括高溫，並且能抵抗機械沖擊和振動。VARIAN EHP-500是一種前沿、通用、準確的植入模型，可靠易用。它非常適合在研究和工業中廣泛的離子植入應用。這是理想的選擇，任何人誰需要一個強大的，高性能的離子植入器和顯示器。
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