二手 VARIAN EHP-500 #9142690 待售

VARIAN EHP-500離子植入器是一種多功能、可靠的離子植入設備，具有將高電流離子安全準確地植入半導體和矽片的能力。該系統配備了最先進的高壓裝置，能夠達到40 kV的最大電壓，為各種基材上的離子註入提供了充分的靈活性。處理高達200 keV的顆粒的能力允許植入不同的材料，同時仍然能夠確保高度準確的結果。植入室設計用於處理電離源的插入，其中大部分可以就地進行，從而使基材的吞吐量更快、效率更高。此外，該腔室設計用於處理高達10-4 Torr的超壓，使其適合幹式和濕式將離子引入晶片。VARIAN EHP500的設計可容納廣泛的基材，由導電、耐腐蝕和防輻射材料制成。與植入室一起，EHP 500安裝了一個精密的離子監測器，能夠監測植入過程中的一系列參數。這包括光束電流、光束位置、光束對準、離子動能、基板距離、基板溫度和摻雜濃度。該監視器還能夠實時和植入後數據記錄，使操作員能夠快速準確地分析和調整植入參數。此外，EHP500擁有一個圖形用戶界面，允許操作員通過圖形屏幕目視控制每個植入過程。例如，操作員可以在幾秒鐘內直接從監視器調整光束對準、離子能量、基板距離和其他參數。用戶界面使植入物能夠快速周轉，也便於測量植入後的參數，如泄漏電流和連接深度表征，確保只交付最高質量的植入樣品。最後，EHP-500配備了二次電噴霧單元，能夠產生一個電場，快速將離子移動到植入室中，從而在低速移動基板時允許高度均勻和可重現的結果。這個先進的單元適用於所有類型的植入，如涉及低劑量和高壓的植入。總之，VARIAN EHP 500是一種可靠、用途廣泛、精度高的離子植入機，能夠植入各種基質中。先進的監視器和用戶界面使植入過程的操作變得簡單，而先進的電噴霧裝置則確保準確甚至植入到每個樣品中。