二手 VARIAN EHP-500 #9181387 待售
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ID: 9181387
Medium current ion implanter, 8"
E-Chuck
Main components:
End station module
Services module
PC / Monitor
LCD Monitor
Controllers
Vertical lift orienter
Vacuum gauge
Uniformity
Left elevator
DI Temp monitor
Terminal module
Remote PC and monitor
Accel column
Accel stack
Accel PSU & tray
Accel suspension PSU
Enclosure
Signal tower & HV
Exhaust leakage box
Signal tower cont box
End station services module controllers:
Left arm servo
Right arm servo
Vacuum gauge
Scan faraday
Platen tilt servo
Vertical lift orienter
Uniformity
Liner motor servo
Orienter
Left elevator
Right elevator
Dose intergator
DI Temp monitor
E Clamp PSU
UPS
Terminal PSU's and assy:
Faraday cup assy
Extraction manipulator
Motion controller
Swing out arm decel
Relay arm decel assy
Set-up mirror assy
Neutral dump assy
Anal beam dump assy
Source mag assy
Anal mag assy
Quad mag assy
Lens mag assy
Scan controller
Scan generator: 30kV
Set-up faraday pre amp
Vacuum gauge cont
Scan assy
Quad 1 mag PSU
Quad 2 mag PSU
Analyzer PSU
Extraction PSU
Lens PSU
Suppression PSU
Mirror 60kV PSU
Source mag PSU
Source head and gas cabinet:
Source head
Arc PSU
Filament PSU
Gas module:
(2) AsH3: SDS
PH3: SDS
(3) BF3: SDS
(4) Ar: Diss, CGA 580
Vacuum system:
Make Model Description
EDWARDS 1003C Source turbo pump
VARIAN V300HT Resolve turbo pump
EDWARDS 1003C Beamline turbo pump
CTI On-Board 10 Endstation cryo pump
CTI 9600 Cryo compressor
VARIAN V300HT Load / L turbo pump
VARIAN V300HT Load / L cryo pump
EBARA 50X20 Endstation dry pump
EDWARDS QDP80 Terminal dry pump
Additional parts / Spares:
CCTV: ESC Type
1998 vintage.
VARIAN EHP-500是一種先進的離子植入和監測設備，設計用於處理各種材料和離子物種，範圍廣泛。該系統基於多能量、多離子集成控制平臺，非常適合半導體器件制造、納米技術、物理氣相沈積、薄膜沈積、離子束測圖、醫學物理等領域的應用。該裝置的主要特點是植入精度高，均勻性控制，顆粒汙染和散射事件低。VARIAN EHP500使用高精度的六極離子源，可以賦予廣泛的能量、角度和功率。這一特性允許以接近零的低效率和均勻性進行精確的離子植入。該機還包括先進的控制工具，允許用戶精確控制加速電位、光束強度、位置精度、光束聚焦等參數。EHP 500還具有集成光束監控資產,可以更好地概述和控制流程。光束監測器利用各種探測器，包括法拉第杯、電離室和一系列數字探測器。該模型還提供了廣泛的可編程功能，如針對某些離子的自動束消隱、工藝步驟啟動和自動無效。設備可以安裝在各種工作環境中,包括清潔室、控制室和需要額外安全性的遠程位置。EHP500的用戶友好界面和先進診斷技術使其成為研究和行業應用的理想選擇。VARIAN EHP 500還用於執行更復雜的監測任務，如深度剖析、損傷評估、PID分析和光束轉向。這些任務可以在自動模式或逐步模式下執行，並提供實時反饋，以更好的過程控制和優化。綜上所述，EHP-500是一種先進的離子植入和監測系統，旨在對各種材料和離子物種進行高度準確、均勻和清潔的植入。該單元由高度精確的六極離子源、集成光束監測機和各種可編程功能組成，為各種應用提供了極大的靈活性和提高的精度。
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