二手 VARIAN EHP-500 #9215996 待售
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已售出
ID: 9215996
晶圓大小: 8"
優質的: 1998
Medium current ion implanter, 8"
Mirror 60 Kv PSu: E110002
Gas box configuration:
Gas box type: SDS
Gas line 1 = PH3
Gas line 2 = AsH3
Gas line 3 = BF3
Gas line 4 = Ar
Pumps configuration:
VARIAN V300HT Resolver turbo pump
Endstation CRYOPUMP CTI on-board 10
CTI 9600 Compressor
Loadlock turbo pump VARIAN V300HT
EBARA Endstation dry pump: 50 x 20
EDWARDS QDP80 Terminal dry pump
Electrical facility requirements
208 V, 3 Phase, 5 wire 43.2 KVA 120 FLA
200A Main CB 42,000 AIC 60 Hz
75A Maximum single load
250kV Maximum beam energy
1998 vintage.
VARIAN EHP-500是一種高精度的離子植入器和監控器。這種重型儀器使用離子源、高壓電源、抽取器、掃描磁鐵、偏轉器組件、法拉第杯和光束監視器。離子源產生高能離子，然後由高壓電源加速至所需能量。這種能量隨後被提取器優化，這是一種用於控制離子束的磁性組件。掃描磁體是用於控制和掃描離子束的組件，而偏轉器組件則用於塑造離子束的軌跡。接下來，光束通過法拉第杯，測量光束的強度。最後，離子束通過光束監視器，對光束的電流、電壓和能量提供反饋。該儀器具有控制、監測和塑造離子束的能力，是高精度離子註入和監測的理想選擇。
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