二手 VARIAN EHP-500 #9315482 待售

VARIAN EHP-500離子植入器和監視器是一種高性能的離子植入器和監視器，具有廣泛的功能。它旨在提供高精度的植入和精密的過程控制在低和高占位周期。VARIAN EHP500可以配置為獨立植入器或過程控制單元,從而實現最大性能和靈活性。EHP 500利用了許多先進技術，包括高分辨率數字離子能譜儀和數字質譜儀，用於快速、準確地測量植入的離子種類和劑量。該系統還具有高保真粒子匹配引擎，使用戶能夠快速高效地優化植入過程，以獲得最佳的均勻性和精確度。EHP-500還具有先進的離子光學功能和廣泛的動態範圍（WDR）控制，能夠植入可變光束掃描的均勻性和精度。VARIAN EHP 500采用了許多先進的自動化功能,為植入和過程控制提供了高精度。該系統采用可編程的高壓/低壓發電機和高速自動調速模塊進行變速植入。高功率、緊湊的離子源允許以較高的位置精度以較高的速率註入低能離子。EHP500還提供晶片的精密植入後清潔。VARIAN EHP-500系統還提供各種監測功能，包括遠程監測過程及其參數的能力，以及提供關於植入過程的實時反饋。高級集成數據記錄器進一步增強了此監控功能,該記錄器記錄與植入過程相關的所有過程參數和結果。然後,可以通過以太網界面遠程訪問和分析這些數據,也可以通過可選的用戶界面遠程監視這些數據。總體而言,VARIAN EHP500 Ion Implanter and Monitor是一款高性能的離子植入器和監視器,為用戶提供最大程度的過程控制、精度和靈活性。它集成了先進的離子光學功能、廣泛的動態範圍控制以及先進的集成數據記錄器，以實現最佳性能和最佳植入效果。