二手 VARIAN / GENUS 1510 / 1520 #9228263 待售

GENUS 1510和1520是用於離子植入和監測到基質中的裝置。它們設計用於半導體和納米技術制造過程。1510提供了精確植入基板的聚焦離子束，而1520則是用於測量植入光束參數的離子虹吸式監測器，以確保最高水平的重復性和準確性。VARIAN 1510具有雙陰極技術，允許對基板中的兩個陽極中的每一個進行獨立控制，以及離子在整個表面的均勻分布。這確保了整個過程中均勻一致的植入。其一些主要特點包括提高光束精度的自動對準光束對準系統、不同基板的可調植入物能量和加快基板加工的調整過程時間。另一方面，1520離子監測器具有靈敏可靠的離子閘，可以精確測量植入光束的離子電流和離子通量速率。這有助於確保工藝的準確性，對於實現高質量的半導體器件至關重要。1520也可用於測量植入物的整體正負通量、峰峰厚度和離子質量。最後，VARIAN/GENUS 1510和1520是半導體和納米技術行業離子植入和過程監測的基本工具。其精確、準確和可重復的操作確保了能夠以最小的努力制造高質量的設備。由於這些原因,它們是任何工藝工程師工具包的重要組成部分。